Optical proximity correction(OPC),是一種通過對(duì)圖形進(jìn)行特殊補(bǔ)償設(shè)計(jì),增強(qiáng)曝光圖形質(zhì)量,降低或彌補(bǔ)衍射臨近效應(yīng)對(duì)圖形產(chǎn)生過程影響的一種技術(shù)
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